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科威勒熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家：FGM222系列質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所 開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質(zhì)、高精度微機(jī)電 流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等